半自动贴膜机

 半自动晶圆贴膜机
(型号:swm100)
主要规格 
1.1框架尺寸:      6或8英寸（disco或者k&s任选一种）              
1.2膜种类:       蓝膜或者uv膜
                 宽度:    210-230毫米（6英寸）280-300毫米（8英寸）
                 长度:    100~200米
                 厚度:    0.05~0.2毫米
1.3晶圆规格：     4，5，6，8英寸
1.4贴膜原理:     防静电滚轮贴膜（自动贴膜）
1.5工作台盘:     特氟隆涂层接触式台盘
1.6装卸方式:     产品手动放置与取出
1.7切割系统:       直线刀切割仅在框架以外2-3毫米处，圆切割刀顺时针方向旋转切割。
                 独特的直切刀技术保证在同类机台胶膜应用最节省
1.8产品定位:       chuck  table上对应wafer形状的刻线，真空吸固定wafer
1.9电力供应:       单相交流电220v,5a
1.10压缩空气:      5公斤清洁干燥压缩空气,流量每分钟2立方英尺
1.11体积:          560毫米(宽)*860毫米(深)*510毫米(高)
1.12净重:          60公斤
2.机器性能:
2.1晶圆收益:      >=99.9%
2.2贴膜质量:     没有气泡(不包括碎粒气泡)
2.3  每小时产能:    >=90片
3.安装,培训及验收:
3.1卖方负责将机器安装,调机,试运行及性能测试
3.2卖方给于买方内部操作员工,工程师,维护人员完善的技术培训直到他们可以稳定独立地操  
  作机器
4.保修条款:
4.1卖方保证设备完全满足买方正常生产要求及购买规格
4.2保修期为买方正式验收起12个月内
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上海海展自动化设备有限公司
李海飞
13764170846
上海松江区姚北路1158号

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