- 加工定制:
- 品牌:MRC
- 类型:
- 提供加工定制:是
- 型号:943
- 别名:
- 适用范围:
- 炉膛最高温度:
- 工作温度:
- 装载量:
- 工作室尺寸:
- 外形尺寸:
- 规格:
1、设备名称:mrc943真空溅射镀膜机
2、设备品牌:美国mrc
3、设备规格:mrc943
4、设备介绍:
mrc943采用独特的卧式结构设计及特殊结构的阴极,可实现高溅射,膜厚均匀性和高靶材有效使用率,从研发应用到大批量生产,可沉积介质膜、金属膜等,主要用于集成电路制造、平板显示器、光刻掩膜版、通讯网络、化合物半导体器件、射频功率器件和光电子器件等。
本系统可分为预真空室、溅射区域、rf离子清洗,预真空室具有基片承载盘升降机,使得装卸基片和溅射工艺同时进行,从而实现 “in-line”连续在线工作方式。12”x12”尺寸的基片承载盘,可放置不同尺寸及形状的基片。9个4” 基片/次,6个6” 基片/次,1个12” 基片/次。
深圳市昊光机电科技应用有限公司
王明
13631617125
:深圳市龙岗区坪地镇高桥产业区麻沙旭达工业区1栋
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