连续式ILC汽车反光镜磁控溅射镀膜生产线

vakia-ilc-d系列连续式汽车反光镜磁控溅射镀膜生产线
总体设计如下：进口室、进口缓冲室、进口传送室、溅射镀膜室、出口传送室、出口缓冲室、出口室。每个溅射镀膜室最多可以同时安装四个阴极；高真空室采用插板阀隔离，通过改变气氛隔离效果可以实现各种汽车反光镜膜。
生产线特点：
（1）      设备类型：立式连续磁控溅射镀膜线
（2）      膜层均匀性：在有效沉积区域内，膜层厚度均匀性≤5%
（3）      阴极结构设计：采用中频孪生旋转阴极，靶规格视产品而定
（4）      传动模式：采用小车传动方式。整条生产线的各段速度采用变频调速电机驱动，运行速度可调节
（5）      镀膜温度控制：可按客户要求采用不同加热方式，控温稳定度为
（6）      控制系统：采用组态软件与plc的结合模式，实现人机对话，对生产过程能进行必要的及时干预。运行过程中有报警提示和故障显示。
磁控溅射镀膜生产线主要用于压加力板材、玻璃、陶瓷、手机壳、电脑、pc、pet等表面磁控溅射高质量、多功能金属膜、防干扰电磁屏蔽膜（emi）、反应膜、复合膜、透明导电膜(ito)、抗反射膜（ar）、增反射膜等。具有大吞吐量连续式磁控金属化生产，采用同行业最先进的生产工艺，极大地提高了膜层与工件的结合力、附着力。连续式自动生产线保证了产品的一致性与稳定性，全制程无废气、废水排放，产品符合欧洲环保法要求。
特点及基本参数
●卧式线体结构，可实现单面同时镀膜
●生产效率,最快速度达1分钟/节拍
●模组化设计,维护方便
●镀膜工艺成熟,成品率高
●直流磁控溅射阴极可随客户要求选择
●真空系统由机械泵、罗茨泵、扩散泵(分子泵)组成
●线体尺寸可随客户要求定做
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上海沃家真空设备科技有限公司
林锡强
18221089271
上海松江区小昆山镇昆港公路888号

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