EMS 1050型射频等离子处理仪 低温灰化仪

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海德创业（北京）生物科技有限公司111
海德创业（北京）生物科技有限公司成立十余年来，经公司全体员工不懈努力、进取和广大用户的支持理解，在生命科学、材料科学领域都获得了长足的发展和进步，与众多的高校和研究所建立了良好的合作关系。展望未来，我们会继续本着“优质的服务是公司的根本”这一信条，不骄不躁，继续前行。您的成功，我们的期待！
原理：通过等离子体与固体表面的相互作用，消除固体表面的有机污染物，固体如：金属、陶瓷、玻璃、硅片等等，同时可以用等离子处理系统对样品表面进行处理，改善样品表面的特性，如亲水/疏水特性，表面自由能，以及表面的吸附/粘附特性等等。1050型射频等离子处理仪（plasma asher）的等离子处理单元由固态射频发生器结合调谐电路组成。同时两种处理气体流量针阀监控，全部或部分通气口控制。
应用领域：
生物芯片领域
医用材料、光学材料研究
电子半导体领域
高分子材料研究
电化学、高端零部件处理
有机材料的灰化、刻蚀
仪器性能：
自动调频高频发生器
内置旋转真空泵
此系统通常使用氧及氩的混合气体，氧去除有机物质（碳氢化合物），氩对样品表面进行刻蚀
低温等离子灰化、刻蚀、清洗 (0-150 watts rf)
真空监测.
双重气流针阀控制
精确时间定时
微处理器程序设置
lcd状态数字显示
腔室为圆柱形，样品装载为抽屉式抽拉系统，样本操作方便
聚碳酸脂安全防护
技术参数：
电镜有机样本的刻蚀尺寸
450mm(w)x350mm(d)x300mm(h)
工作腔室
派热克斯玻璃 150mm(l)x100mm(dia.) (硼硅酸盐玻璃为标准配置)
重量
25kg
等离子体输出
最大150w，13.56 mhz 。
等离子体输出
最大150w，13.56 mhz 。
真空度
>atm to 1 x 10-5mbar；通常 0.5 mbar to 1.0 mbar.
时间控制
最长可设置99小时59分钟
双重气流控制
双重针阀气流控制，可选1种或2种气体（校准 5-100cm3/min air at a.t.p)
电源
230 v， 50hz (3 amp max)
产品信息：货号 产品名称 规格
93000
ems 1050 plasma asher
台
91005-f
rotary vacuum pump (fomblin)
个

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海德创业（北京）生物科技有限公司
张北
15910716037
北京市回龙观

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