- 品牌:3M
- 型号:SH-14
- 规格:350-1380mm
- 材质:聚氨酯发泡
- 提供加工定制:是
- 粒度:1.4mm
- 适用范围:可以对硅片、砷化镓、磷化铟、玻璃硬盘、光学玻璃、金属制品、蓝宝石晶片、碳化硅晶片等材质或工件进行精密抛光
- 类型:
sunhin精抛光布 (final polishing pad)以聚氨酯为主体材料,经涂层,发泡,削平及拉毛等工艺制成,它的特点是毛长,微孔大,吸药性强,同时,背面涂有高阻水性胶膜,粘结强度大,不宜脱落。sunhin拥有专门在抛光垫表面制作各种形状沟槽的设备及工艺,可根据用户要求设计制作各种形状沟槽。沟槽边缘成圆弧状,由于无切铣从而无碎屑及毛丝残留,也无表面硬化问题。
不锈钢/铜镜面抛光皮
物性说明:
品名 (article no): 不锈钢/铜镜面抛光皮
用途 (for uses) : 精抛
物理性质各项参数 ( physical properties )
项目
重量
厚度
密度
压缩率
弹性率
硬度
绒长
开口径
单位
g/m2
mm
g/m3
%
%
asker c
μm
μm
测定值
539
1.54
0.35
2.9
70
60
570
50
(物理性质数据只是测定数值,不作为规格数值。)
(the above is not standard, but measured figures.)
产品特点:
v 材料的亲水性:
采用特殊冒泡聚氨基甲酸酯,对于抛光液的濡湿性(亲水性)出众.
v 基层纤维厚度的均一性:
抛光压力及抛光液的流动量均一
v 起泡的泡囊长度均一性:
抛光压力及抛光液的流动量均一以及抛光效率的均一性高
v 起泡的泡囊形状均一性:
抛光液的含量均一,因此抛光效率均一性高
v 起泡的泡囊的开口口径均一性:
抛光效率均一性高
v 基层材料采用微细纤维,厚度均一性及压力均一性都优越,抛光效率高
v 绒毛长度更长,良好的亲水性和抛光液流动率,通过减薄工艺,更好保持抛光后的面型精度
v 兼容性好,蓝宝石,水晶,晶片,铝合金,不锈钢等金属五金的精抛光用
cmp抛光布广泛应用于硅(si)、锗(ge)、砷化镓(gaas)、蓝宝石、水晶、金属等粗抛以及精密抛光。日本的信越半导体(硅片)、京瓷(蓝宝石)、并木(蓝宝石)、俄罗斯monocrystal(蓝宝石)、等多家公司都在使用该抛光布。
东莞市星利达光电材料有限公司
陈海彬
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